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マガジン加熱装置

半導体製造工程に使用するマガジンをそのままアニールやキュアできるように開発された装置です。 非常にコンパクトで状況に応じて複数台使用することも容易な大きさです。

概要

マガジン加熱装置とは、半導体製造工程に使用するマガジンをそのままアニールやキュアできるように開発された装置です。
非常にコンパクトで状況に応じて複数台使用することも容易な大きさです。

昇温時の温度分布が極めて安定し、昇温時間が短いのも特徴です。プログラム可能な温度調節器を使用することによりステップキュアも可能です。

加熱ステップ数任意に可変
最高使用温度ワーク温度にて250℃
保持温度条件マガジン内ワーク 100〜250±5℃以内
対象マガジンW:70×L:230×H:200
マガジン収納数1
炉内寸法W:80×L:300×H:220
加熱方式遠赤外線加熱＋熱風加熱方式
電源電圧三相 200V 3kVA
設備寸法W:450×L:700×H:530
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マガジンキュア装置（ラックタイプ）

概要

この加熱装置は、キャリアやリードフレームを収納したアルミマガジンを1 炉に1 マガジンづつ入炉し、ステップ昇温を可能にした装置です。

小型加熱炉をラックに8 台並べてそれぞれに単独制御できるシステムを組み込んでいます。

1台の制御BOXに1 台の加熱炉の組合せから複数個の加熱炉の組合せまで製作可能です。
基本は“均熱精度”の優れた加熱炉です。

マガジン加熱装置（ＳＭＨ-141）

外形寸法Ｗ３２０×Ｄ３８０×Ｈ９４４（シャッター閉時）
炉内寸法Ｗ１７２×Ｄ２７７×Ｈ２９４（ﾏｶﾞｼﾞﾝサイズにより変更可）
電源単相２００Ｖ　１５Ａ
圧縮空気0.5Ｍｐａ
窒素0.3Ｍｐａ　　２５Ｌ/ｍｉｎ
設定温度４０℃～３００℃
温度精度設定温度に対し　±３℃
制御オムロン製シーケンス
シマデン製温調器
ＳＳＲ　　ＰＩＤ

概要

九州日昌独自の”均熱技術”を発展させた設備です。
電子部品、半導体等の製造工程で近年特に”熱の精度”を要求されます。
また、”環境に優しい”設備創りを求められます。

マガジン加熱装置（ＳＭＨ－１４０）は従来の加熱プロセスを踏襲しながら効率と省エネを実現しました。
マガジン単位で加熱と冷却を行います。

一定温度の加熱プロファイルからステップ（階段）加熱プロファイルまでプログラムコントロールによって実現できます。

期操作フロー

電源ＯＮ→ヒータＯＮ→（昇温完了信号）

連続操作フロー

シャッター開→ﾏｶﾞｼﾞﾝセット→シャッター閉→自動運転スタート→自動運転終了

均熱技術についてのお問い合わせ

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