半導体関連

1.フープ材の連続キュア

ステンレスの耐摩耗性の特徴を生かし、均熱で長時間連続キュアできます。

2.高低温度の連続キュア

安定した均熱が得られるため、周囲に影響されない高・低温度の連続加熱が可能です。

3.ウェハの直接加熱

均熱精度が安定しているブロックにエアー穴を設けて、ウェハを吸着しながら加熱できます。

4.異形 I Cの加熱

多種少量に対応し、テンプレートをひんぱんに交換しても、均熱の再現性に優れ、温度分布は変わりません。(但し、テンプレートの形状により異なりますので、御相談下さい。)

5.短尺フレーム加熱

ブロックの長さ、幅の狭さに影響されず正確に均熱出来ます。

6.テスタ用加熱ステージ

300±1℃といった高精度の均熱が得られるため検査用加熱ステージとして対応可能です。

7.エージング用

長時間安定した加熱が必要なエージングテストは熱安定したブロックときめ細かい制御が必要です。

8.半田槽

均熱仕様の半田槽は温度のばらつきが小さいため、加熱ムラがありません。そのため、鉛フリー用には最適です。