本社
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ステンレスの耐摩耗性の特徴を生かし、均熱で長時間連続キュアできます。

安定した均熱が得られるため、周囲に影響されない高・低温度の連続加熱が可能です。

均熱精度が安定しているブロックにエアー穴を設けて、ウェハを吸着しながら加熱できます。

多種少量に対応し、テンプレートをひんぱんに交換しても、均熱の再現性に優れ、温度分布は変わりません。(但し、テンプレートの形状により異なりますので、御相談下さい。)

ブロックの長さ、幅の狭さに影響されず正確に均熱出来ます。

300±1℃といった高精度の均熱が得られるため検査用加熱ステージとして対応可能です。

長時間安定した加熱が必要なエージングテストは熱安定したブロックときめ細かい制御が必要です。

均熱仕様の半田槽は温度のばらつきが小さいため、加熱ムラがありません。そのため、鉛フリー用には最適です。
